Установка "Кристалл 503"

Установка "Кристалл 503" для группового бестигельного выращивания кристаллов с пъедестала


Бестигельное выращивание кристаллов с пъедестала - это совмещение метода бестигельной зонной плавки и метода Чохральского вытягивания кристалла из расплава. В этом способе вместо тигля используется заготовка-пьедестал, например, слиток большого диаметра. Зона расплава создается и поддерживается нагревом торца слитка специальным кольцевым индуктором. Вытягивание кристалла производится вверх с поверхности зоны расплава.

Установка предназначена для одновременного выращивания 7-9 прутков-подложек кремния, диаметром 4-7 мм и длиной более 2500 мм, с пъедестала - исходного кристалла диаметром 90 мм. Процесс проводится в вакууме при остаточном давлении 5·10-5 мм рт. ст. или в газе.

Достаточно высокую производительность и относительно низкую стоимость получаемых прутков обеспечивает применение оригинального технологического узла, основой которого является электромагнитный формообразователь - индуктор специальной конструкции, работающий от источника питания 880 кГц.

В установке используются

• прецизионные механические устройства передачи линейного и вращательного движений элементов внутрь камеры; 
• высоконадёжные герметичные вводы движения штоков внутрь технологической камеры. 

Установка может быть адаптирована для получения монокристаллов других материалов и других размеров.