серия Кристалл 800

Установки для выращивания монокристаллов особо чистого германия с использованием метода Чохральского 
"Кристалл 801", "Кристалл 803"

Обеспечивается получение монокристаллических слитков особо чистого германия диаметром 80 мм и длиной до 500 мм.

Графитовый тигель с исходным материалом располагается в вертикальной герметичной технологической камере в форме кварцевой трубы диаметром 260 мм, длиной 1000 мм. Кварцевая труба имеет вакуумно-плотное основание и поворотную крышку из нержавеющей стали. Через основание и крышку проходят штоки для передачи движения на тигель и затравку. Индуктор располагается внутри камеры и окружает тигель. Камеру окружает тепловой экран из меди со смотровым окном.

Процесс может проводиться в среде проточного водорода с расходом 1-10 л/мин. Предварительная откачка камеры до 5·10-5 мм рт. ст. осуществляется с помощью безмасляного турбомолекулярного насоса. Автоматическое регулирование температуры тигля производится с использованием оптической системы АПИР-С. Регулирование скоростей перемещения и вращения штоков может производиться по специальной программе.

Установки модифицируются для решения каждой конкретной задачи.